Productdetails:
|
Stroom/drukwaaier: | ±1000 sccm (1 SLPM) | Nul over de gehele temperatuurwaaier: | ±0.20 mV gelijkstroom |
---|---|---|---|
Herhaalbaarheid: | ±0.50% die leest | Reactietijd: | Typische waarde 1 Mej. |
Markeren: | Van het micro- de Meter van de de Massastroom Bruggas,AWM42300V de Stroommeter van de gasmassa,Van de micro- de Stroomsensor Brug Thermische Massa |
±1000sccm van het micro- van de de Massastroom Bruggas de Metersensor AWM42300V
van de micro-Brug ±1000sccm de Stroomsensor AWM42300V Gasmassa
Eigenschappen:
De sensor van de de massastroom van het Microbridgegas gebruikt thermische die weerstand in een dunne film van siliciumnitride wordt verpakt. Deze weerstanden worden opgeschort en vormen twee Bruggen over de etsholte van het siliciumwafeltje. De spaander wordt geplaatst in het beste kanaal van de specificatieluchtstroom om herhaalbare stroomreactie te verstrekken. Door de holte te etsen onder de stroom ontdekkende brug, bereikt de verwarmer en weerstand te ontdekken efficiënte thermische isolatie. De kleine grootte en de thermische isolatiefunctie van de van de micro-brug de stroomsensor gasmassa bereiken snelle reactie en hoge gevoeligheid voor de luchtstroom.
De meting van de de controleluchtstroom van de Wheatstone tweeling-brug - één verstrekt closed-loop verwarmercontrole, bevat andere dubbele ontdekkende elementen. De verwarmerkring vermindert outputvariatie toe te schrijven aan omgevingstemperatuurvariatie door een output te verstrekken evenredig aan het tarief van de massastroom. Deze kring handhaaft de temperatuur van de verwarmer bij een constant temperatuurverschil boven de omgevingstemperatuur (160 °C), die door de thermische weerstand op de spaander wordt gemeten. De output van het apparaat is evenredig aan het leveringsvoltage en beantwoordt ook aan het differentiële voltage van de Wheatstone-brugkring.
Specificaties:
Interfacetype | verzamelleiding |
Machtsconsumptie | 60 mw |
Middelgrote verenigbaarheid | Droog slechts gas |
De waaier van de compensatietemperatuur | -25°C aan 85°C [- 13°F aan 185°F] |
Contactpersoon: Xu
Tel.: 86+13352990255