YJJ AS200 RVS MFC Hoge Precisie Gas Massastroomregelaar Lucht Micro-Gas Flow Meter

Productbeschrijving:

YJJ AS200 Roestvrij staal MFC Hoogprecisie gasmassa-stroomregelaar Lucht micro-gasstroommeter

Kenmerken:

Gasmassa-stroomregelaar van de AS200-serie

Biedt krachtige gratis clientgebaseerde upper computer software

De AS200-serie gasmassa-stroomregelaar is geschikt voor verschillende conventionele gassen, waardoor de nauwkeurigheid en betrouwbaarheid van de meetresultaten van de gasmassa-stroomregeling worden verbeterd.De nauwkeurigheid van de herhaalbaarheid is tot 00,2% F.S.;

De lage lekkage van 1x10-0 Pa·m3/sec He, goede luchtdichtheid, die de veiligheid van de productie verzekert; Het kan meerdere signaaluitgangen ondersteunen, waaronder digitale signalen, 1-5V analoge signalen,en analoge signalen van 4-20mA, die een enkele voedingsbron (+15~+28VDC) kan gebruiken en geschikt is voor verschillende werkscenario's;Het standaard open communicatieprotocol maakt het gemakkelijk voor klanten om zelfstandig controle- en acquisitiesoftware te ontwikkelen; tegelijkertijd biedt het product ook krachtige gratis clientgebaseerde upper computersoftware, die het debuggen en bedienen van de gebruiker vergemakkelijkt.

De AS200-serie producten zijn ontwikkeld door Aosong Electronics met behulp van geavanceerde MEMS-technologie.de kerntechnologieën zijn toegepast om de hoge prestaties te garanderenHet is een kwalitatief hoogwaardig instrument met een goede stabiliteit, hoge precisie, lage lekkage en hoge drukweerstand.

De AS200-serie gasmassa-stroomcontroller (MFC) wordt hoofdzakelijk gebruikt voor nauwkeurige controle en meting van de gasmassa-stroom.AS200 speelt een belangrijke rol in onderzoek en productie op verschillende gebieden, zoals de technologie van de halfgeleiderintegrated circuitDe meest voorkomende toepassingsscenario's zijn onder meer:zoals epitaxie, diffusie, plasma-etsen, sputtering, ionenimplantatie en diverse CVD-apparatuur; andere industriële apparatuur, zoals optische vezels smelten, micro-reactieapparaten,gasmengsels en gasdistributiesystemen, gasmonsters, capillaire meetinstrumenten, gaschromatografen en andere analyses.

Gasmassa-stroomregelaar

Stroomvoorziening: 15 - 24 V gelijkstroom (eenpool)

Meetbereik: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/min

0.03 - 3, 0.05 - 5, 0.1 - 10, 0.2 - 20,

0.3 - 30, 0,5 - 50 SLM/min.

Herhalingsnauwkeurigheid: ±0,2% van volle schaal

Reactietijd: 1 seconde

Werkomgeving: 5 - 45°C

Grootte: 112,8 * 38 * 115 mm

Specificaties: