YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS Thermische gasmassastroommeter 0,5-50 SLPM 1,5 MPa

Productbeschrijving:

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS thermische gasmassa-stroommeter 0,5 - 50 SLPM 1,5MPa

Kenmerken:

I. Demontage van het model (detailleerde betekenis van elke positie)

MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A

MF5006: Serie DN6 (Binnendiameter 6 mm, 1/4" interface)

N2: Standaardgas = stikstof (N2)

M: MEMS thermisch massa-stroomprincipe

E: Aluminium legering schelp

0.5: Minimaal bereik 0,5 SLPM (Standaard liter per minuut bij 20°C / 1 atm)

50: Maximaal bereik 50 SLPM

15: Maximale werkdruk 1,5 MPa

AB: Uitgang = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)

D: met LCD-scherm (instantane + cumulatieve stroom)

A: Standaardconfiguratie (geen speciale aanpassing)

II. Kernparameters (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A)

1. Meetprestaties

Gemeten medium: N2, lucht, O2, Ar, CO2, enz. Droge, schone, olievrije, geen condensation gas

Doorbraak / interface: DN6, 1/4" binnendraad (G1/4 of NPT1/4)

Bereik (N2, 20°C / 1 atm): 0,550 SLPM (standaard liter/minute)

Naast de in punt 4.4.1 bedoelde parameters moet de in punt 4.4.3 bedoelde parameters worden gebruikt.

Herhaalbaarheid: ≤ ± 0,5% FS

Afstandsverhouding: 100:1 (breed bereik, lage stroomgevoeligheid)

Reactietijd: ≤ 100 ms (Fast Follow Flow Changes)

Startstroom: laag tot 8 mm/s (extremely small flow measurable)

2. Elektriciteit en output

Stroomvoorziening: 1224 VDC ±10%, stroomverbruik < 2 W

Analoog-uitgang: 4 ′ 20 mA (overeenkomend met 0 ′ 50 SLPM)

Communicatie: RS485 (Modbus-RTU), netwerkbare afstandsbediening

Display: LCD-scherm, toont Instantane Flow (SLPM) + Cumulative Flow

3Mechanische en Milieu

Materiaal: aluminiumlegering (E-type), lichtgewicht, corrosiebestendig

Contactmateriaal: 316L roestvrij staal

Werkdruk: ≤ 1,5 MPa (15 bar)

Werktemperatuur: -20°C tot +60°C

Vochtigheid: 0·95% RH (geen condensatie)

Beschermingsgraad: IP40 (stofdicht, binnenshuis/algemene industriële omgeving)

Installatie: Horizontale / verticale installatie op wens, geen recht buissegment vereist (voordeel van MEMS thermisch)

4Principe kenmerken

MEMS thermisch: directe meting van massa-stroom, geen temperatuur/drukcompensatie, nauwkeurigheidTemperatuur/drukschommelingen beïnvloeden

Ultralage differentialdruk: minimaal drukverlies, geschikt voor systemen met lage druk/kleine stroom

Hoge stabiliteit: Zero Point Drift Klein, onderhoudsvrij op lange termijn

III. Belangrijkste toepassingen (nauwkeurige meting van kleine boringen, gassen met lage stroom)

1. Halve-geleider / Elektronik (Core Scenario)

Hoge zuiverheid stikstof (N2), zuurstof (O2), argon (Ar), procesgasverhouding en stroombewaking

Precieze controle van gas met een kleine stroom in waferverwerking, diffusie, etsen, afzetting

2Medisch / Farmaceutisch

Bewaking van de zuurstof- en stikstoftoevoer in ziekenhuizen (ademhalingsapparaten, verdovingsapparaten)

Precieze meting van farmaceutisch steriel gas, beschermend gas (N2/Ar)

3Laboratorium / Onderzoek

Kleine stroomverhouding, mengen, reactiegasmonitoring van proefgassen (N2/O2/Ar/CO2)

Meting van gas met een lage stroom voor katalyse, verbranding, bemonstering van het milieu, enz.

4Industriële automatisering

Stabiel beheer van het lasbeschermingsgas met een kleine stroom (Ar/CO2)

Stroombewaking van nauwkeurige verwerking, inspectieapparatuur Blowout/beschermingsgas

Kleine tak van gecomprimeerde lucht / apparaat eindenergieverbruik

5Milieu / Nieuwe energie

Monitoring van uitlaatgassen met een lage concentratie, uitlaatgassen met een kleine stroom bemonstering

Meting van waterstofgas met een lage concentratie voor waterstofbrandstofcellen

Specificaties: