|
Productdetails:
|
| Volledig - schaal: | 100 SCCM | Voeding: | +15 tot +28 VDC (enkele voeding) |
|---|---|---|---|
| Signaal: | 0–5V analoog; ondersteunt RS485 digitale communicatie | Nauwkeurigheid: | ±1% FS; Herhaalbaarheid: ±0,2% FS |
| Markeren: | Gas Mass Flow Controller voor halfgeleiderproductie,medische lucht debietmeter sensor met garantie,AS200A008C100CJCC Flow Controller |
||
AS200A008C100CJCC Gasmassa-stroomregelaar Gebruik voor halfgeleiderproductieprocessen
Typische toepassingen
Verwerking van halfgeleiders, CVD, gasdistributiesystemen, laboratoriumgasregeling, analytische instrumenten, enz.
Specificatie:
| Lijktempo | 1 × 10−10 Pa·m3/s (He) |
| Drukweerstand | 3 MPa |
| AS200-productreeks | MEMS-gasmassa-stroomcontroller |
| A (Type zegel) | A = rubberen afdichting; signaal: 0 ′5V analoge invoer/uitvoer |
| 008 (gascode) | 008 komt overeen met het aangegeven gas |
| C (afstandseenheid) | C = SCCM (Standard kubieke centimeter per minuut) |
| 100 (vol) | 100 SCCM |
| CJCC | Subfix voor interface, kleppentype, elektrische en montagecombinatie |
![]()
Contactpersoon: Xu
Tel.: 86+13352990255